quecemento reactor mocvd con indución
Os reactores de deposición de vapor químico metalorgánico (MOCVD) de quecemento por indución son unha tecnoloxía dirixida a mellorar a eficiencia do quecemento e reducir o acoplamento magnético nocivo coa entrada de gas. Os reactores MOCVD de quecemento por indución convencionais adoitan ter a bobina de indución situada fóra da cámara, o que pode producir un quecemento menos eficiente e unha potencial interferencia magnética co sistema de entrega de gas. Recente… Le máis